氦質(zhì)譜檢漏儀，是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏的儀器。它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。是真空檢漏技術中靈敏度zui高，使用zui普遍的檢漏儀器。


氦質(zhì)譜檢漏儀的應用：

元件檢漏的要求，靈活性測試，高靈敏度，快速于的結果，快速啟動，移動性和系統(tǒng)的可靠性。

半導體工藝設備的維護，該設備本身帶或未帶有真空泵

工藝氣體系統(tǒng)的檢測與安裝

元器件在組裝前的漏率測試

要求高抽速、高靈敏度以及清潔測試條件的應用場合


氦質(zhì)譜檢漏儀的原理：

氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學原理，用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。質(zhì)譜室里的燈絲發(fā)射出來的電子，在室內(nèi)來回地振蕩，并與室內(nèi)氣體和經(jīng)漏孔進人室內(nèi)的氦氣相互碰撞使其電離成正離子，這些氦離子在加速電場作用下進人磁場，由于洛倫茲力作用產(chǎn)生偏轉，形成圓弧形軌道，改變加速電壓可使不同質(zhì)量的離子通過磁場和接收縫到達接收極而被檢測。噴氦法、吸氦法是氦質(zhì)譜檢漏儀在電阻爐檢漏中zui常用的兩種方法。